Peces mecanitzades CNC de semiconductors
Fabriquem a midaa partir de dibuixos de clients i fitxers CAD, inclososComponents de la cambra de buit, plaques i accessoris de distribució de gas, peces de manipulació i subjecció d'hòsties, components de bombes i vàlvules, peces de RF, plaques de refrigeració, dissipadors de calor i components del kit de procés. Les nostres capacitats de tornejat CNC, fresat, mecanitzat de 5-eixos, CNC suís i fresat-admeten components d'estreta tolerància per a equips de gravat, deposició, litografia, implantació d'ions, CMP i metrologia.
Les peces d'equips de semiconductors viuen en un món diferent que les peces industrials ordinàries: han de sobreviurerequisits de buit, gasos corrosius de procés, plasma, cicles de temperatura i control{0}}de partícules. La selecció del material és, per tant, la primera decisió en qualsevol projecte de mecanitzat de semiconductors. Mecanitzem graus exactes -Acer inoxidable 316L VIM-VAR i 316L, alumini 6061-T6 i 7075-T6, titani grau 5, molibdè TZM, coure OFHC C10100, aliatges de níquel i plàstics d'enginyeria PEEK/PTFE- i apliqueu acabats compatibles amb sales netes-allà on l'aplicació els requereixi. Les peces es fabriquen segons les dimensions, toleràncies, materials i requisits d'acabat especificats, amb certificats de material disponibles a petició.
Des de prototips individuals per al desenvolupament de noves eines fins a sèries de producció repetides per a kits de procés de recanvi, mecanitzem components de semiconductors fins al dibuix - independentment de la quantitat.
Peces mecanitzades CNC per a aplicacions de semiconductors
Equips de gravat i deposició
Cossos de cambra · revestiments de cambra · plaques de distribució de gas · conjunts d'elèctrodes · anells d'enfocament · anells de fixació · peces de muntatge del capçal de dutxa
Materials:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titani grau 5
Sistemes de buit i subministrament de gas
Brides de buit (CF/KF/ISO) · Components de la vàlvula de compuerta · Accessoris de la línia de gas · Segells frontals tipus VCR- · Blocs col·lectors · Peces de muntatge de la bomba
Materials:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Manipulació i transport d'hòsties
Braços de robot · efectes finals · pinces d'hòstia · pinces de vora · components de casset · peces d'elevador i forquilla · muntatges cinemàtics
Materials:6061-T6 · 7075-T6 · · Coure beril·li C17200 · Titani grau 5
Implantació iònica i peces de línia de llum
Components de la línia de llum · elèctrodes · obertures · peces de supressió i extracció · protectors d'alta-temperatura
Materials:Molibdè TZM · Tungstè W · Tàntal Ta-2,5W
Components d'energia de RF i plasma
Connectors RF · carcasses de pas · suports d'elèctrodes · peces de blindatge · molles de contacte
Materials:C10100 OFHC coure · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Gestió tèrmica i CMP
Plaques de refrigeració · Components del refrigerador · Dissipadors de calor · Parts del capçal CMP · Anells de retenció · Components del plat
Materials:C10100 OFHC coure · 6061-T6 · 316L
Equips de metrologia i inspecció
Muntatges òptics · components de l'escenari · plaques base · accessoris d'alineació · peces de muntatge cinemàtiques
Materials:6061-T6 · 7075-T6 · Titani grau 5
Equips de neteja i processament humit
Components del dipòsit i del bany · braços aspersors · suports de broquets · peces de rodets i raspalls · accessoris resistents a productes químics-
Materials:316L · Hastelloy C-276 · Titani grau 2
Peces mecanitzades CNC de semiconductors que fabriquem
Components de la cambra de buit
Cossos de cambra, tapes, revestiments i anells de muntatge amb planitud controlada, superfícies de segellat i baixos requisits de desgasificació.
Materials:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Brides i accessoris de buit
Brides CF (ConFlat), KF i ISO, mugrons, adaptadors i accessoris de línia de gas per al servei UHV.
Materials:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Plaques de distribució de gas i broquets
Plaques de distribució-perforades de precisió, broquets d'injecció i maquinari de muntatge del capçal de dutxa.
Materials:6061-T6 · Titani grau 5 · 316L
Pinces, anells i pinces d'hòstia
Anells d'enfocament, anells de pinça, pinces de vora i guies d'hòsties amb planitud i control dimensional ajustats.
Materials:6061-T6 · C17200 · Titani grau 5
Braços robòtics i efectes finals
Braços de transferència d'hòsties, forquilles i efectors finals amb pes, rigidesa i control de partícules equilibrats.
Materials: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Components de la bomba i la vàlvula
Carcasses, rotors, pales, olletes, seients i peces de tija per a bombes seques, vàlvules de comporta i maquinari de control de flux massiu-.
Materials:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit de procés i peces consumibles
Peces del kit reemplaçables dissenyades per a comandes repetides amb toleràncies i neteja constants.
Materials:6061-T6 · Titani grau 5 · 316L VIM-VAR
Plaques de refrigeració i dissipadors de calor
Plaques-refrigerades per aigua, dissipadors de calor i parts del refrigerador amb superfícies crítiques-planes.
Materials:C10100 OFHC coure · 6061-T6 · 316L
RF i components de contacte
Carcasses de RF, peces de connectors, molles de contacte i components de blindatge EMI.
Materials: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Teniu una peça de semiconductor personalitzada? Envieu el vostre fitxer CAD
Processos de mecanitzat CNC per a peces de semiconductors
Tornejat CNC
Millor per a:Accessoris · mugrons · tiges de vàlvules · rotors de bomba · broquets
Ideal per a components cilíndrics amb concentricitat estreta.
Fresat CNC
Millor per a:Cossos de cambra · plaques base · col·lectors · suports
Adequat per a components plans, prismàtics i multi{0}}funcions.
Mecanitzat CNC de 5 eixos
Millor per a:Efectors finals · carcasses complexes · Components RF
Mecanitza geometries complexes i angles compostos en una configuració.
Tornatge CNC-Fresat
Millor per a:Accessoris de la línia de gas · peces d'acoblament amb característiques fresades
Combina tornejat i fresat per a peces de rotació complexes.
Mecanitzat CNC suís
Millor per a:Accessoris petits · components del sensor · passadors de precisió
Dissenyat per a components de precisió petits, prims i de gran-volum.
Rectificat i rectificat CNC
Millor per a:Superfícies de segellat · seients de coixinets · forats de precisió
S'utilitza per a diàmetres crítics, ajustaments i acabats miralls (Ra 0,1–0,4 μm assolible).
Materials de mecanitzat CNC de semiconductors
Per als components semiconductors, la selecció del material depèn decompatibilitat amb el buit, química del procés, resistència al plasma, temperatura, magnetisme, generació de partícules i gestió tèrmica. Mecanitzem una gamma de materials metàl·lics i plàstics d'enginyeria per a cambres, sistemes de gas, manipulació d'hòsties, RF i peces tèrmiques.
| Material | Graus comuns | Aplicacions típiques de semiconductors | Avantatges clau |
|---|---|---|---|
| Alumini | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Cossos de cambra, plaques base, braços robot, dissipadors de calor, suports | Lleuger, anoditzable, bona conductivitat tèrmica; 6061-T6 és el cavall de batalla per al maquinari de cambra |
| Acer inoxidable | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Brides de buit, accessoris de gas, peces de vàlvules, maquinari{0}}d'alta resistència | Resistència a la corrosió i a la temperatura; 316L VIM-VAR és l'estàndard per al servei de baixa-desgasificació UHV |
| Titani | Grau 2 (CP) · Grau 5 (Ti-6Al-4V) | Peces de distribució de gas, kits de procés, maquinari de processament humit | Resistència al plasma i química, alta resistència-a-pes, no-magnètic |
| coure | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 coure beril·li | Peces RF, plaques de refrigeració, molles de contacte, maquinari elèctric | Excel·lent conductivitat elèctrica i tèrmica; OFHC ideal per a RF i gestió de calor |
| Aliatges de níquel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Accessoris-resistents a productes químics, peces-d'alta temperatura, estructures de metrologia | Resistència química i a la temperatura; Invar 36 ofereix una expansió tèrmica gairebé -zero |
Per què 316L VIM-VAR?Per a components d'ultra-alt-buit (UHV), fem la màquina316L VIM-VAR- doble-inoxidable fos amb molt baix contingut de gas i inclusions. Desgasta menys, solda de manera més previsible i es manté net en servei de buit. Si el vostre dibuix especifica VIM-VAR o electropolished 316L, podem subministrar el material amb una certificació completa.
Selecció de material per a entorns de buit i sales netes
Compatibilitat amb el buit i desgasificació
Els materials dins de la cambra no han de desgasificar ni atrapar partícules. 316L VIM-VAR, 6061-T6 són opcions habituals; La porositat i l'acabat de la superfície es controlen per mantenir baix el desgasament.
Resistència química i al plasma
Els gasos halògens i fluorats de procés ataquen molts metalls. El molibdè TZM, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, titani de grau 5 es seleccionen per a la química corrosiva i l'exposició al plasma.
Control de partícules i contaminació
El desgast, les vores i els residus atrapats generen partícules que maten el rendiment. Desbarbem totes les vores, controlem la rugositat de la superfície i netegem les peces segons els estàndards de sala neta abans d'embalar.
Gestió tèrmica
La calor afecta la uniformitat del procés. El coure C10100 OFHC i el 6061-T6 s'utilitzen per a plaques de refrigeració i dissipadors de calor; TZM i tungstè manegen peces de línia de llum i cambra d'alta temperatura.
Propietats magnètiques i elèctriques
Alguns processos requereixen materials no-magnètics com ara 316L, titani de grau 5; El maquinari de RF i de connexió a terra utilitza coure OFHC C10100 i coure beril·li C17200.
Precisió i estabilitat
Les peces de metrologia i litografia necessiten estabilitat dimensional: alumini 6061-T6 i 7075-T6, geometria de titani de grau 5 que mantenen els canvis de temperatura.
Toleràncies i especificacions de mecanitzat CNC de semiconductors
Els components semiconductors sovint requereixen una precisió de nivell de micres-en les cares de segellat, les dades de muntatge, les superfícies de contacte de les hòsties-i els forats de precisió, de manera que les eines s'assemblen correctament i els processos es poden repetir.
| Especificació | Capacitat típica | Aplicacions típiques de semiconductors |
|---|---|---|
| Dimensions lineals | ±0,01 mm (precisió fins a ±0,005 mm) | Parts de cambra, plaques base, col·lectors |
| Diàmetre del forat i de l'eix | ±0,005–0,01 mm | Rotors de bombes, tiges de vàlvules, accessoris de precisió |
| Planitud | Fins a 0,01 mm/100 mm | Cares de segellat, plaques de refrigeració, suports cinemàtics |
| Concentricitat / Extensió | Fins a 0,01 mm | Parts de la bomba giratòria, acoblaments |
| Posició Veritable | ±0,01 mm | Patrons de forats-perns, forats de distribució de gas |
| Rugositat superficial | Ra 0,2–0,8 μm estàndard; Ra 0,1–0,4 μm a petició | Cares de segellat, superfícies de contacte-hòsties, interiors de cambra |
| Desbarbat de vores | Controlat per dibuix (micro-desbarbat disponible) | Totes les partícules-partícules crítiques |
| Tolerància al fil | Segons els requisits ISO/ASME | Accessoris, brides, maquinari de muntatge |
Característiques crítiques que controlem
Segellat i ranures d'-anell tòric- profunditat, amplada i acabat superficial controlats per a tancaments al buit i fluids.
Hòstia-superfícies de contacte- control de la planitud i la rugositat per evitar danys a les hòsties i la generació de partícules.
Forats i ajustaments de precisió- forats precisos per a coixinets, eixos i components-ajustats a pressió.
Forats de distribució de gas- Mida exacta del forat, posició i desbarbat per a un flux de gas uniforme.
Datum i característiques de muntatge- dades coherents per a un muntatge i una alineació repetibles.
Acabats superficials per a peces CNC de semiconductors
L'acabat superficial forma part de l'estratègia de contaminació i corrosió en equips de semiconductors. L'acabat correcte controla les partícules, la desgasificació, la resistència química i el comportament elèctric.
| Acabat superficial | Materials aplicables | Parts típiques de semiconductors | Benefici principal |
|---|---|---|---|
| Electropolit | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Brides de buit, línies de gas, revestiments de cambra | Elimina material superficial i inclusions; redueix la desgasificació i l'atrapament de partícules |
| Passivació | 316L · 304L · 17-4 PH | Accessoris, elements de subjecció, peces de vàlvules | Elimina el ferro lliure, millora la resistència a la corrosió |
| Anoditzat tipus II | 6061-T6 · 6063-T5 | Cossos de cambra, plaques de base, suports | Capa aïllant i resistent a la corrosió{0}; opcions de color |
| Anoditzat dur (tipus III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Desgast superfícies, guies, peces de robot | Capa protectora dura i -resistent al desgast |
| Revestiment de níquel sense electros | 6061-T6 · 7075-T6 · Acer | Maquinari de la cambra, peces del kit de procés | Protecció uniforme contra el desgast i la corrosió |
| Revestiment d'or | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Contactes RF, peces del connector | Baixa resistència al contacte, protecció contra la corrosió |
| Estanyat | C10100 · C11000 | Conductors elèctrics, barres de bus | Soldabilitat i protecció contra la corrosió |
| Explosió de comptes | 6061-T6 · 316L · Acer | Cases, cobertes, superfícies no-crítiques | Acabat mat uniforme (controlat per alliberament de partícules) |
| Neteja de sala blanca | Tots els materials | Totes les peces abans de l'embalatge | Neteja d'ultrasons en diverses-etapes, sense oli, sense residus, controlat-partícules |
Control de qualitat de mecanitzat CNC de semiconductors
Inspeccionem les dimensions crítiques, els ajustos, la planitud, la desviació i els requisits de superfície durant tota la producció per garantir que les peces de semiconductors mecanitzats CNC compleixen el dibuix. Per a projectes que requereixen una qualitat documentada, podem subministrar certificats de material, informes dimensionals i documentació de neteja per donar suport a la vostra inspecció entrant.
Verificació del material
Verificació del material
Inspecció dimensional
Inspecció de GD&T
Inspecció de fils
Inspecció d'acabat superficial
Inspecció final
Inspecció d'envasos
| Element d'inspecció | Equip / Mètode | Parts típiques de semiconductors |
|---|---|---|
| Inspecció dimensional | CMM · Calibres · Micròmetres | Dimensions totals de la part |
| Diàmetre del forat i de l'eix | Calibre de perforació · Calibre de pins · CMM | Rotors de bombes, tiges de vàlvules, accessoris |
| Planitud i paral·lelisme | Placa de superfície · CMM | Cares de segellat, plaques de refrigeració |
| Posició Veritable | CMM | Patrons de forats, plaques de distribució de gas |
| Rugositat superficial | Comprovador de rugositat | Cares de segellat, superfícies de contacte-hòsties |
| Inspecció de fils | Go/No-Go Thread Gauges | Accessoris i fixacions |
| Verificació del material | Espectròmetre + Certificat de material | Matèria primera entrant (EN 10204 3.1 disponible; certificació VIM-VAR a petició) |
| Comprovació de neteja | Visual + Comprovació de partícules a petició | Peces lliurades-de sala blanca |
| Inspecció final | CMM + Informe d'Inspecció | Acceptació dimensional final |
Mecanitzat CNC de prototips i de baix-volum per a semiconductors
Els projectes de semiconductors sovint comencen amb prototips - dissenys d'eines noves, desenvolupament de kits de procés, peces d'actualització o components de substitució que s'han de validar abans de la producció. Donem suportprototip i mecanitzat CNC de baix-volumdes de les mostres inicials fins a repetir comandes-per lots petits.
Mecanitzat de prototips
Per al desenvolupament de noves eines, validació de processos i canvis de disseny.
Quantitat típica:1-10 unitats
Producció de baix-volum
Per a sistemes pilot, actualitzacions d'eines i execucions de producció inicials.
Quantitat típica:10–1, 000+ unitats
Producció repetida
Per a kits de procés de recanvi i comandes recurrents amb dissenys establerts.
Quantitat típica:En funció dels requisits del projecte
Apte per
Cambra de buit i maquinari de subministrament de gas
Components de manipulació i subjecció d'hòsties
Gravat, deposició i peces d'implantació iònica
RF, parts de gestió elèctrica i tèrmica
Instal·lacions de metrologia i inspecció
Recanvis i kits de procés per a eines existents
Embalatge i temps de lliurament per a peces CNC de semiconductors
Embalatge
Protecció individual:Bosses de PE, escuma o pel·lícula protectora per a superfícies mecanitzades
Embalatge de sala blanca:Peces netes doble-envasades en bosses netes (opció de purga de nitrogen-disponible)
Peces petites:Caixes de cartró dividides per evitar esgarrapades i contacte de part{0}}a-part
Peces de precisió:Insercions d'escuma i compartiments separats per a components crítics
Embalatge personalitzat:Números de peça, etiquetes, quantitats i requisits d'embalatge específics-del client
Temps de lliurament típic
| Tipus de comanda | Temps de lliurament típic |
|---|---|
| Prototip | 5-10 dies laborables |
| Comanda de-volum baix | 10-20 dies laborables |
| Ordre de producció | 15-30 dies laborables |
| Repetiu l'ordre | 10-25 dies laborables |
PMF
P: Quines peces mecanitzades CNC de semiconductors podeu fabricar?
R: Fabriquem components de cambra de buit personalitzats, brides i accessoris de línia de gas, plaques de distribució de gas, pinces i anells d'hòsties, peces de braç de robot, components de bombes i vàlvules, peces de línia de llum d'implantadors d'ions, components de RF, plaques de refrigeració, dissipadors de calor i peces de kit de procés per a equips de semiconductors.
P: Quines toleràncies de mecanitzat CNC podeu aconseguir?
R: La nostra tolerància CNC estàndard és normalment de ±0,05 mm, amb un mecanitzat de precisió de fins a ±0,02 mm i característiques crítiques seleccionades fins a ±0,005–0,01 mm, depenent de la geometria, el material i els requisits de dibuix.
P: Podeu subministrar 316L VIM-VAR per a components de buit?
A: Sí. Per a un servei de buit ultra-alt-podem mecanitzar 316L VIM-VAR (fosa per inducció al buit i refs per arc al buit) amb baix contingut de gas, subministrada amb certificació de material. L'electropolit està disponible per reduir la desgasificació i atrapar partícules.
P: Oferiu neteja i embalatge compatibles-en sales netes?
A: Sí. Les peces es poden netejar per ultrasons en diverses-etapes, assecar-se i ensacar-se doble-en bosses netes (purga de nitrogen opcional) per mantenir les superfícies lliures de partícules-per al lliurament a la sala neta.
P: Podeu subministrar certificats de materials i informes d'inspecció?
A: Sí. En funció dels requisits del projecte, podem proporcionar certificats de material (EN 10204 3.1, inclosa la certificació VIM-VAR), informes d'inspecció dimensional, informes CMM i registres d'acabat superficial.
P: Es poden mecanitzar components no-magnètics?
A: Sí. Mecanitzem graus no-magnètics, com ara inoxidable 316L, titani de grau 5, alumini 6061-T6 i PEEK per a aplicacions on s'ha d'evitar el magnetisme.
P: Quins acabats superficials apliqueu a les peces de semiconductors?
R: Depenent del material i de l'aplicació, oferim electropolit, passivació, anoditzat dur tipus II i tipus III, niquelat sense electros, revestiment d'or i estanyat, granallat i neteja de sales netes.
P: Accepteu dibuixos 2D i fitxers CAD?
R: Podem treballar amb fitxers de dibuix comuns STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF i 2D.
P: Admeteu la producció de prototips i de baix-volum?
A: Sí. Admetem quantitats de prototips d'1 a 10 peces, producció de baix-volum de 10 a 1,000+ peces, així com comandes de producció repetides de kits de procés i peces de recanvi.
P: Quin és el temps de lliurament típic de les peces CNC de semiconductors?
R: Els terminis de lliurament habituals són de 5 a 10 dies laborables per als prototips, de 10 a 20 dies laborables per a comandes de baix-volum i de 15 a 30 dies laborables per a comandes de producció, depenent de la complexitat de la peça, la quantitat, el material i l'acabat.
Etiquetes populars: peces mecanitzades cnc de semiconductors, fabricants de peces mecanitzades cnc de semiconductors de la Xina, proveïdors, fàbrica, titani
Un parell de
NoPotser també t'agrada
Enviar la consulta